5-Axis Milled Ceramic Insulators for Semiconductor Equipment & Cleanrooms

នៅក្នុងពិភពដែលមានភាគហ៊ុនខ្ពស់នៃការផលិត semiconductor និងបរិស្ថាន cleanroom សមាសធាតុទាំងអស់ត្រូវតែផ្តល់នូវដំណើរការល្អឥតខ្ចោះ។ នៅPFT, យើងមានជំនាញក្នុងសិប្បកម្មអ៊ីសូឡង់សេរ៉ាមិចកិន 5 អ័ក្សដែលកំណត់ឡើងវិញនូវភាពជាក់លាក់ និងភាពជឿជាក់។ ជាមួយនឹងជាង 20+ជំនាញជាច្រើនឆ្នាំ ដំណោះស្រាយរបស់យើងត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់ស្តែងនៃឧបករណ៍ semiconductor ធានានូវស្ថេរភាពកម្ដៅ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី និងប្រតិបត្តិការគ្មានការចម្លងរោគនៅក្នុងការកំណត់ដែលងាយប្រតិកម្មខ្លាំង។

ហេតុអ្វីបានជាជ្រើសរើស 5-Axis Milled Insulators របស់យើង?

១.សមត្ថភាពផលិតកម្រិតខ្ពស់

គ្រឿងបរិក្ខាររបស់យើងត្រូវបានបំពាក់ដោយម៉ាស៊ីនកិន CNC អ័ក្ស 5 ​​ដ៏ទំនើបបំផុត។អនុញ្ញាតឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតមីក្រូនក្នុងការបង្កើតសេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់ដូចជាអាលុយមីណា (Al₂O₃), ស៊ីលីកុនកាបូន (SiC) និងអាលុយមីញ៉ូមនីត្រាត (AlN)។ មិនដូចវិធីសាស្រ្តធម្មតាទេ ការកែច្នៃអ័ក្ស 5 ​​អនុញ្ញាតឱ្យមានធរណីមាត្រស្មុគ្រស្មាញ - សំខាន់សម្រាប់សមាសធាតុដូចជាម្ជុលលើក wafer ផ្នែកនៃបន្ទប់ដាក់ប្រាក់ និងអ៊ីសូឡង់ធន់នឹងប្លាស្មា។

លក្ខណៈសំខាន់ៗ៖

•ភាពជាក់លាក់៖ភាពអត់ធ្មត់ ± 0.005mm សម្រាប់ការរួមបញ្ចូលដោយគ្មានថ្នេរទៅក្នុងឧបករណ៍ ASML lithography ឬប្រព័ន្ធ Lam Research ។
•ភាពចម្រុះនៃសម្ភារៈ៖ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ 99.8% alumina, SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសេរ៉ាមិចកម្រិតខ្ពស់ផ្សេងទៀត។
•ការបញ្ចប់ផ្ទៃ៖Ra <0.2μm ដើម្បីកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិតនៅក្នុងបន្ទប់សម្អាត ISO Class 1។

២.វិស្វកម្មដំណើរការកម្មសិទ្ធិ

វិស្វកររបស់យើងបានអភិវឌ្ឍការគ្រប់គ្រងដំណើរការរង្វិលជុំដែលសម្របទៅនឹងភាពផុយរបស់សេរ៉ាមិចកំឡុងពេលម៉ាស៊ីន។ ដោយរួមបញ្ចូលគ្នានូវបច្ចេកទេសកិនស្ងួតជាមួយនឹងការរំញ័រក្នុងពេលជាក់ស្តែង យើងសម្រេចបាននូវផ្ទៃដែលមិនមានស្នាមប្រេះ និងអាយុកាលនៃសមាសធាតុបន្ថែម - សូម្បីតែនៅក្រោមការជិះកង់កម្ដៅខ្លាំង (រហូតដល់ 1,600 ° C) ។

ការចាប់អារម្មណ៍លើការច្នៃប្រឌិត៖

•ពិធីការបន្ធូរបន្ថយភាពតានតឹង៖កាត់បន្ថយការបាក់ឆ្អឹងខ្នាតតូចនៅក្នុងអ៊ីសូឡង់ AlN សម្រាប់កម្មវិធី CVD ។
•ការព្យាបាលក្រោយម៉ាស៊ីន៖HIP (Hot Isostatic Pressing) បង្កើនដង់ស៊ីតេ និងធន់នឹងច្រេះ។

៣.ការធានាគុណភាពយ៉ាងម៉ត់ចត់

រាល់អ៊ីសូឡង់ឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យ 12 ដំណាក់កាលរួមទាំង៖

•CMM (ម៉ាស៊ីនវាស់សំរបសំរួល)សុពលភាពនៃវិមាត្រសំខាន់។
•ការធ្វើតេស្តលេចធ្លាយអេលីយ៉ូមសម្រាប់ភាពឆបគ្នានៃម៉ាស៊ីនបូមធូលី។
•EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)ដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈ។

របស់យើង។ប្រព័ន្ធដែលបានបញ្ជាក់ ISO 9001/14001ធានាការតាមដានពីការទិញវត្ថុធាតុដើម (ប្រភពពីអ្នកផ្គត់ផ្គង់លំដាប់ទី 1 ដូចជា CoorsTek) ដល់ការវេចខ្ចប់ចុងក្រោយ។

កម្មវិធី៖ កន្លែងដែលភាពជាក់លាក់ជួបនឹងការអនុវត្ត

អ៊ីសូឡង់របស់យើងត្រូវបានជឿជាក់លើ:

•ឧបករណ៍ឆ្លាក់ និងដាក់ប្រាក់៖សមាសធាតុ SiC-coated សម្រាប់ធន់នឹងប្លាស្មានៅក្នុងម៉ូឌុល Applied Materials™។
•ឧបករណ៍ដាំអ៊ីយ៉ុង៖ម្ជុលលើក Alumina ជាមួយនឹងថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តដើម្បីការពារការរអិលរបស់ wafer ។
•ប្រព័ន្ធ Metrology៖អ៊ីសូឡង់កំដៅទាបសម្រាប់ដំណាក់កាល lithography EUV ។

ករណីសិក្សា៖គ្រឿងអេឡិចត្រូនិកនាំមុខគេ OEM បានកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំឧបករណ៍ 40% បន្ទាប់ពីប្តូរទៅក្បាលផ្កាឈូក SiC ដែលបានរចនាឡើងតាមតម្រូវការរបស់យើង ដែលដំណើរការផ្នែករបស់អ្នកប្រកួតប្រជែងក្នុងដំណើរការ wafer 300mm ។

Beyond Manufacturing: វិធីសាស្រ្តភាពជាដៃគូ

•គំរូគំរូរហ័ស៖បញ្ជូនឯកសារ CAD របស់អ្នក និងទទួលបានគំរូមុខងារក្នុងរយៈពេល 7 ថ្ងៃ។
•ការវេចខ្ចប់បន្ទប់អនាម័យនៅនឹងកន្លែង៖ជម្រើសនៃការផ្គុំបន្ទប់សម្អាតថ្នាក់ទី 10 សម្រាប់ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍ដោយផ្ទាល់។
•ជំនួយបច្ចេកទេសពេញមួយជីវិត៖វិស្វកររបស់យើងផ្តល់នូវការវិភាគការពាក់ និងសេវាកម្មម៉ាស៊ីនឡើងវិញ ដើម្បីពង្រីកអាយុកាលនៃសមាសធាតុ។